小流量气体质量流量控制器的工作原理及应用场景分享

 

　　一、工作原理

 

　　1、热式测量原理

 

　　小流量气体质量流量控制器通常基于热传导原理工作。它通过加热元件对流经传感器的气体进行加热，并测量气体流动带走的热量变化来确定流量。当气体流过传感器时，带走的热量与气体的质量流量成正比。内置的温度传感器检测到这种变化，并将其转换为电信号，经过放大和处理后输出相应的流量值。

 

　　2、闭环控制机制

 

　　高精度的产品采用闭环控制系统，确保流量稳定且准确。系统根据设定值与实际测量值之间的差异，自动调整阀门开度，使流量始终保持在目标范围内。这种实时反馈机制使得即使在外界条件发生变化时，也能维持稳定的流量输出。

 

　　二、典型应用场景

 

　　1、半导体制造

 

　　在半导体工艺中，气体流量的精确控制对于薄膜沉积、蚀刻等工序至关重要。例如，在化学气相沉积（CVD）过程中，需要严格控制反应气体的流量，以保证薄膜厚度均匀一致。它可以确保气体供应稳定可靠，满足严格的工艺要求。

 

　　2、实验室分析仪器

 

　　气相色谱仪（GC）、质谱仪（MS）等分析仪器常配备该产品，用于载气或辅助气体的精确供给。这有助于提高检测灵敏度和准确性，特别是在痕量物质分析中表现尤为突出。

 

　　3、医疗设备

 

　　呼吸机、麻醉机等医疗设备依赖于小流量气体质量流量控制器来精确输送氧气或其他治疗气体，确保患者安全有效接受治疗。其高精度和稳定性对于保障生命支持系统的正常运行至关重要。